中国电子科技集团公司第三研究所, 北京 100015
提出了一种基于微机电系统(MEMS)波纹振膜的高灵敏度光纤传声器,通过波纹振膜研制法布里-珀罗干涉腔,可进一步提升光纤传声器的灵敏度。在理论分析中,应用有限元分析软件COMSOL对振膜进行建模,仿真分析了波纹宽度、波纹深度和波纹间距等参数对振膜灵敏度和工作频率的影响。实验结果表明,基于MEMS波纹振膜研制的光纤传声器样机灵敏度为630 mV/Pa,频率响应范围为50 Hz~8 kHz;且该光纤传声器的结构简单,能很好地应用于远场语音拾取等领域。
光纤光学 传声器 波纹振膜 远场语音拾取 光学学报
2021, 41(18): 1806002
1 中国电子科技集团公司第三研究所, 北京 100015
2 哈尔滨工程大学水声工程学院, 黑龙江 哈尔滨 150001
针对基于相位解调的双光束薄膜干涉型光纤传声器的特性展开了研究,仿真分析了三路信号的直流分项、交流分项以及相位差对双光束薄膜干涉型光纤传声器输出性能的影响。采用对比法,并通过实验研究了基于相位解调的双光束薄膜干涉型光纤传声器的输出特性,实现了灵敏度为193 mV/Pa@1 kHz、频率响应为200 Hz~4 kHz@±3 dB的声信号测量。本研究能够很好地应用于声探测、语音识别等领域。
光通信 光纤传感器 声传感 双光束薄膜干涉 相位解调
