1 四川大学电子信息学院,四川,成都,610064
2 中国工程物理研究院流体物理研究所,四川,绵阳,621900
用脉宽为60 fs、波长为800nm的fs激光辐照电荷耦合器件,研究了电荷耦合器件在fs激光作用下的失效问题.实验得到fs激光作用下电荷耦合器件的失效阈值为4.22×10-3J/cm2.这比ns激光作用下电荷耦合器件的损伤阈值低2～3个量级.对该器件进行显微观测,在光敏元上没有发现损伤,但在器件的栅极上发现了明显的激光引起的损伤痕迹.
fs激光 电荷耦合器件(CCD) 失效阈值 Femtosecond laser Charge coupled devices （CCD ） Failure threshold
