1 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300308
2 浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室, 浙江 杭州 310027
3 成都七中高新校区, 四川 成都 610209
基于SiO2/Al/SiO2三层夹层结构, 结合使用多角度椭圆偏振谱和透射光谱精确反演获得了薄金属Al层光学常数, 并研究分析了Al光学常数随膜层厚度的变化; 在此基础上采用导纳匹配法, 理论优化获得了三腔金属诱导透射紫外滤光膜, 并系统分析了Al和SiO2介质匹配层制备误差对紫外滤光膜光谱性能的影响; 进一步采用低温、高真空Al、SiO2薄膜生长工艺, 成功获得了峰值波长位于218 nm附近, 峰值透过率~23.1%, 带宽~32 nm, 在280 nm、318 nm波段的透过率分别约为0.5%和0.04%, 400～700 nm、800~1 100 nm波段的截止度分别可达~5.0 OD、~4.5 OD的高性能三腔诱导透射紫外滤光片样品。相关研究结果对于高性能多腔诱导透射“日盲”紫外滤光片的设计与制备具有很好的指导意义。
光学薄膜 电子束蒸发 紫外诱导透射 thin film electron beam evaporation UV induced filter Al/SiO2 Al/SiO2 红外与激光工程
2018, 47(9): 0920002
