1 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300308
2 浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室, 浙江 杭州 310027
3 成都七中高新校区, 四川 成都 610209
基于SiO2/Al/SiO2三层夹层结构, 结合使用多角度椭圆偏振谱和透射光谱精确反演获得了薄金属Al层光学常数, 并研究分析了Al光学常数随膜层厚度的变化; 在此基础上采用导纳匹配法, 理论优化获得了三腔金属诱导透射紫外滤光膜, 并系统分析了Al和SiO2介质匹配层制备误差对紫外滤光膜光谱性能的影响; 进一步采用低温、高真空Al、SiO2薄膜生长工艺, 成功获得了峰值波长位于218 nm附近, 峰值透过率~23.1%, 带宽~32 nm, 在280 nm、318 nm波段的透过率分别约为0.5%和0.04%, 400～700 nm、800~1 100 nm波段的截止度分别可达~5.0 OD、~4.5 OD的高性能三腔诱导透射紫外滤光片样品。相关研究结果对于高性能多腔诱导透射“日盲”紫外滤光片的设计与制备具有很好的指导意义。
光学薄膜 电子束蒸发 紫外诱导透射 thin film electron beam evaporation UV induced filter Al/SiO2 Al/SiO2 红外与激光工程
2018, 47(9): 0920002
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033
对“日盲”紫外诱导透射滤光片进行了理论设计与分析, 并分别优化了离子束溅射法沉积ZrO2、SiO2和Al薄膜的工艺。利用反射与透射光谱反演获得了ZrO2和SiO2薄膜的光学常数, 并由JGS1/SiO2/Al/SiO2/air(SAS)样品的变角度椭偏光谱反演精确获得了Al薄膜的光学常数。在此基础上, 采用离子束溅射沉积方法并利用上述3种薄膜材料优化制备了“日盲”紫外诱导透射滤光片, 测量了滤光片的光谱性能。光谱性能分析表明, 滤光片的峰值波长位于264 nm, 峰值透过率大于60.0%, 透过峰带宽(FWHM)约为13 nm, 在300~350 nm波段的截止度达到了2.6 OD。研究认为制约离子束溅射制备“日盲”紫外诱导透射滤光片性能的主要因素是Al金属膜的溅射沉积速率以及沉积Al膜时腔体中残余的O2含量。
离子束溅射 “日盲”紫外诱导透射滤光片 折射率 消光系数 椭偏光谱 ion beam sputtering Solar Blind UV Induced Transmission Filter(SBU-ITF ZrO2 ZrO2 refractive index extinction coefficient ellipsometric spectrum 光学 精密工程
2011, 19(12): 2884
Author Affiliations
Abstract
1 Shenyang Academy of Instrumentation Science, Shenyang 110043, China
2 Shenyang HB Optical Technology Co., Ltd., Shenyang 110043, China
Plasma ion-assisted deposition (PIAD) process for ultraviolet (UV)-induced transmission and full dielectric thin-film filters in the 200–400 nm spectral region is described. The design and manufacturing method of the UV filters are introduced. The UV filters exhibit deep blocking (> optical density (OD)5–OD6), high transmittance, and stable environment durability. These UV filters pass 10 cycles in an aggravated temperature-humidity test, according to ISO9022-2 and MIL-STD-810F standards.
紫外诱导透射滤光片(UV ITF) 介质滤光片 等离子辅助 湿热循环实验 310.0310 Thin films 310.1620 Interference coatings Chinese Optics Letters
2010, 8(s1): 59
