1 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理重点实验室,上海 201800
2 中国科学院中国工程物理研究院高功率激光物理联合实验室,上海 201800
3 中国科学院大学,北京 100049
依靠算法提高光学测量精度的方法和应用越来越广泛,由于刀口法在光学非球面检测中的应用有其独特性,本文提出了在非焦点处采样,对应CCD像面上辅以虚拟光阑调制的刀口法环带,实现定量检测。以检测一个凹球面为例,将其与干涉仪标准方法的检测结果进行对比,其中主要环带位置偏差不超过1%,峰谷(PV)值和均方根(RMS)值误差均在7%左右,可以实现至少λ/15左右的检测灵敏度。该研究为光学车间检测提供了一种定量化检测的新思路,优化了光学加工与检测的效率,为自动化刀口仪的研制奠定了基础。
光学检测 刀口仪 自动化 光学仪器 光学学报
2023, 43(21): 2112005
光学 精密工程
2023, 31(15): 2161
光学 精密工程
2023, 31(11): 1710
上海交通大学 电子信息与电气工程学院, 上海 200240
在先进工艺下,VLSI布线产生设计规则违例(DRC)的原因十分复杂,这使得全局布线的拥塞度不再能准确地反映DRC的分布。针对这个问题,提出了一种基于深度学习的预测布线违例分布的方法。该方法只使用布局阶段的引脚、线网和宏模块等版图信息作为特征和CSMOTE算法平衡数据集,无需进行全局布线,然后使用卷积神经网络对数据进行训练,最后用训练模型预测M2 short和cut group space布线违例的分布。该方法在一个采用先进工艺的真实工业设计上进行了测试。结果显示,该方法预测M2 short的准确率为93.4%,F1值为0.78; 预测cut group space的准确率为92.5%,F1值为0.78。
布线违例 深度学习 电子设计自动化 布局 布线规则检查 detailed routing violation deep learning electronic design automation routing design rule check
1 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理重点实验室,上海 201800
2 中国科学院中国工程物理研究院高功率激光物理联合实验室,上海 201800
3 中国科学院大学,北京 100049
为了解决自动化刀口仪面临的如何搜索并收敛到特征点的核心问题,提出一种基于刀口仪轴向移动的非球面检测技术,实现了在搜索过程中提取环带误差信息,一方面在搜索过程中动态获得波前特性,另一方面可以加速收敛找到特征点。利用所提方法对不同参数的镜面环带误差进行检测,所得带差位置与干涉仪检测结果的相对误差小于3.3%,验证了所提方法的有效性。所提方法为刀口仪的自动化测量提供了一个便捷的解决方案,为进一步提高非球面加工效率提供了技术支撑。
测量 刀口仪 自动化 光学检测 光学仪器 光学学报
2022, 42(23): 2312003
1 空军工程大学航空工程学院, 陕西 西安 710038
2 中国人民解放军94582部队, 河南 商丘 476000
针对目标探测算法对混合像元难以区分以及阈值不易选择的问题,根据同类像元的相似性提出对抗生长(AG)算法。首先将生长树模型应用在目标探测中,然后利用AG算法对生长树模型进行改进,最后在遗漏率和重叠率两个参数的约束下得到生长结果,通过对生长结果的进一步分析来得到探测结果。通过实验数据分析可以看到AG算法在检测概率为90%的情况下,虚警率比其他4种传统算法中最佳结果还低0.31个百分点;算法的接收机特性曲线在4组数据中均位于其他算法的左上方,验证所提算法的有效性,表明该算法能够较好地区分混合像元,克服阈值选择的难题,提高目标检测的效率。
图像处理 高光谱图像 目标探测 对抗生长 自动化 混合像元
1 西南交通大学 信息科学与技术学院, 成都 611756
2 西南交通大学 微电子研究所, 成都 611756
随着芯片的集成度越来越高, 物理设计布局阶段的拥塞问题越发严重。提出了一种基于溢出值的局部拥塞消除技术, 根据溢出值选择出拥塞密度最高的拥塞区域, 然后基于模拟退火算法对该区域内的高引脚单元设置合适大小的隔离区域, 以缓解局部拥塞。将提出的方法应用于SMIC 180 nm工艺的四万门设计和SMIC 55 nm工艺的七千门设计进行优化。相较于Synopsys的ICC工具的拥塞优化结果, 提出的方法使设计规则违例下降48%, 短路违例下降52%, 总线长缩短5%, 比现有文献的布线质量更好。
设计自动化 物理设计 布局 拥塞 溢出 启发式算法 design automation physical design placement congestion overflow heuristic algorithm
1 天津大学电子信息工程与自动化学院, 天津 300072
2 中国科学院大连化学物理研究所, 催化基础国家重点实验室, 辽宁大连 116023
为了实现激光拉曼光谱仪光路的自动化控制, 本文建立了基于 MC9S12XEP100核心控制器的光路自动化控制系统。针对开环电机控制出现的精度低、易“丢步”、“堵转”等问题, 本文设计了一种基于压力传感器的闭环控制算法, 极大地提升了控制精度和系统稳定性, 有效避免了电机堵转问题。实验结果表明:该控制系统可以实现多路光的任意调节、光路的接入与复位、闭环自检和上位机通信等功能。该系统所控制的位移误差精度在 0.1 mm范围内, 基本满足光路控制系统稳定可靠、高精度、抗干扰能力强等要求。
光路自动化控制 步进电机 闭环自检 optical path automation control, stepper motor, cl