1 Dept. of Optoelectronic Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China
2 State Key Laboratory for Image Information & Intelligence Control,Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China
3 The National Key Laboratory for Laser Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China
monolithic integration infrared CCD diffractive microlens arrays ion beam milling Chinese Journal of Lasers B
2002, 11(5): 356
对衍射微透镜阵列的光学性能进行理论上的研究,并提出一种测试微透镜阵列衍射效率和点扩散函数的方法,建立了一套测试系统,并对本所研制的128×128衍射微透镜阵列的衍射效率和点扩散函数进行了测试。测试结果证明本所研制的2位相的石英和硅衍射微透镜阵列的性能较好,均匀性较高;而由于工艺和光刻系统的限制,4位相衍射微透镜的制作还存在一些不足,这些都可以从所得到的衍射微透镜的点扩散函数曲线图和衍射效率看出。该方法适于测试具有微小单元尺寸、周期排列的微透镜阵列或单元的衍射效率和点扩散函数。
二元光学 衍射微透镜阵列 衍射效率 点扩散函数