分析了采用旋转涂膜法制备溶胶-凝胶SiO2减反膜过程中条纹缺陷产生的机理, 利用含氟醇类试剂对减反膜溶胶进行改性, 使溶胶链段柔顺性及流动性得到改善。在光学显微镜下对改性前后的膜层进行了对比和分析, 对膜层的表面形貌、表面粗糙度以及透射比等特性进行了表征。结果表明:溶胶改性之后的膜层未出现条纹缺陷, 表面粗糙度均方根值从4.55 nm下降到小于1.00 nm, 膜层表面质量有了较大提高;改性前后膜层的增透性能相当,在熔石英基片上制备的膜层峰值透射比为99.60%~99.89%, 膜层激光损伤阈值为21.0~25.3 J/cm2。
旋转涂膜 条纹缺陷 溶胶-凝胶 减反膜 含氟醇 spin coating striation defects sol-gel antireflective coating fluoroalkanol 强激光与粒子束
2010, 22(12): 2865
