作者单位
摘要
1 北京理工大学 光电学院 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室, 北京 100081
2 北京圣非凡电子系统技术开发有限公司, 北京 102200
3 陆军工程大学 石家庄校区, 河北 石家庄 050003
针对微型机电系统(MEMS)的三维测量, 显微镜或光学轮廓干涉仪等传统方法存在显微测量精度低、设备成本高等问题, 且当结构含有较多断裂面时, 解包裹算法效果欠佳。本文提出一种基于多图像融合的MEMS显微三维测量方法。不同于多角度显微三维测量方法, 本研究首先利用单目显微镜, 通过单一轴向移动获取一系列测量目标深度信息的单一角度图像, 并利用去雾算法对图像进行预处理, 实现了去噪和有效信息提取的目的; 然后通过聚焦测度算法获取待测对象的深度信息; 最后利用数据处理软件进行三维拟合。基于上述原理, 本文以焦平面阵列(FPA)作为待测目标进行了测量实验。本文提出的三维测量方法和图像处理算法可获得更准确的FPA形貌, 可清晰显示反射面与支腿部分及反射面上的释放孔, 测得FPA 的支腿长度为110.6 μm, 每个反射面的像元尺寸为120.8 μm×70.8 μm, 与设计值基本吻合, 解决了断裂面难以测量的问题, 同时降低了微结构测量的难度和成本。单目显微镜单向移动的多图像融合测量技术对MEMS的三维形貌测量具有重要意义, 去雾算法在图像融合与三维测量的图像处理也有很好的应用价值。
微机电系统(MEMS) 三维形貌测量 显微镜 聚焦测度 去雾算法 Micro-electro-mechanical Systems (MEMS) 3D measurement microscope focus measurement haze removal algorithm 
光学 精密工程
2018, 26(5): 1275
甘玉泉 1,2,*汶德胜 1,2王乐 1,2高晓惠 1,2卫翠玉 1,2
作者单位
摘要
1 中科院西安光学精密机械研究所 光谱成像技术重点实验室, 西安 710119
2 中国科学院大学, 北京 100083
为了解决自然灾害遥感影像中局部存在浓雾的问题,提出了一种基于暗原色先验和雾天图像退化模型的图像去雾方法,并利用导向滤波实现光学遥感影像的去雾.首先,结合自然灾害遥感图像的特点,利用阈值将图像分为浓雾区域和薄雾区域,采用不同的方法得出两个区域的暗通道图;然后,结合导向滤波对透射率图进行优化,再对图像进行对比度拉伸,提高图像的动态范围,并选取多幅遥感图像进行去雾试验.最后,设计了一组图像增强质量评价指标,对去雾结果进行定量分析.结果表明,该方法能从物理特性上明显去除雾的干扰,提高图像清晰度,增强图像色彩和细节,从而复原得到高质量图像,在一定程度上能满足自然灾害遥感图像去雾的要求.
图像处理 遥感图像 去雾算法 自然灾害图像 暗通道 导向滤波 透射率 图像增强 Image processing Remote sensing image Haze removal algorithm Natural disaster image Dark channel Guided filter Transmission map Image enhancement 
光子学报
2015, 44(6): 0610003

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