为了满足光通信中对光纤端面镀多层膜的特殊需求, 分析了光纤端面镀制截止滤光膜所存在的难点问题, 利用TFCalc薄膜设计软件, 采用解析法设计了一个初始膜系, 再结合梯度优化法对初始膜系进行优化处理, 成功设计出具有较好光谱性能的光纤端面截止滤光膜的膜系, 并对德国莱宝APS1104型镀膜机进行了内部结构和镀制工艺的改进, 最终采用离子源辅助沉积进行低温镀制, 获得了性能优良的光纤端面截止滤光膜。结果表明, 在光纤端面镀制多层的截止滤光膜, 虽然存在很多困难, 但选择合适的膜系和镀制工艺, 依然能获得符合实际要求的滤光膜。

为满足卫星激光通信中超高速数据传输的特殊要求，采用电子束和离子辅助沉积技术，制备了532 nm、632 nm和1 064 nm波长处高反射，808 nm和1 550 nm处高透射的多波段滤光膜.选取了H4和SiO2作为高低折射率材料，通过对膜系设计曲线的不断优化，减少了灵敏层的个数，得到了相对易于制备的膜系结构；采用电子束加热蒸发方法并加以离子辅助沉积系统制备薄膜, 采用光控与晶控同时监控的方法控制膜厚；通过不断调整工艺，提高了薄膜的抗激光损伤能力，减小了膜厚控制误差，提高了透射波段的透过率及反射波段的反射率，最终得到了光谱性能较好的滤光膜.该薄膜能够承受雨淋、盐雾、高低温等环境测试，满足使用要求.

根据激光敌我识别系统的使用要求，选择H4和SiO2作为高低折射率材料，借助Macleod和TFCalc软件进行膜系优化设计和分析。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积技术，通过正交矩阵实验对材料的工艺参数进行调整和优化，利用基片的正反面分别对带通滤光片的长波反射带和短波反射带进行展宽，解决了单面膜层过厚难以控制的问题，制备了符合要求的激光滤光膜。镀膜后的基片在532，632，905，1064和1550 nm波长处的透射率小于0.2%，808 nm波长附近的平均透射率大于95%。并在532 nm和1064 nm波长处具有较高的激光损伤阈值，能承受恶劣的环境测试，满足激光敌我识别系统中光学仪器的使用要求。

针对激光致盲**的特殊要求，借助Macleod和TFCalc软件，选择H4和YbF3作为高低折射率材料进行膜系优化设计，采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积技术，通过正交矩阵实验对材料的工艺参数进行调整和优化，在蓝宝石基底上，制备了符合要求的宽带增透膜。镀膜后的蓝宝石基片在532、808、905、980和1064 nm波长处的透射率大于97%，中红外波段3~5 μm的平均透射率大于92%。通过内保护层技术的引入，进一步提高了膜层的激光损伤阈值。该薄膜可以同时满足多个激光波长的使用要求，拓宽了其应用范围，降低了使用成本。

根据由多组镜片组成的三维腹腔镜对高透过率和不失真成像的要求，研究并选择了合适的薄膜材料；采用电子束真空镀膜加以离子辅助沉积系统，利用膜系设计软件完成了宽带增透膜的非周期膜系设计。通过调整镀膜工艺参数并采用光控与晶控同时监控的方法，减少了膜厚控制误差，成功地在多组镜片上镀制了宽带增透膜。测试试验显示，制备的膜层在400~700 nm波段的平均反射率＜05%，而且颜色不失真，膜层牢固，抗腐蚀效果较好，满足医用光学仪器的使用要求。

选取二氧化钛与二氧化硅作为薄膜材料,借助膜系设计软件优化设计膜系。采用离子源辅助沉积的真空镀膜方法,通过调整镀膜工艺参数,减少膜厚控制误差,在石英基底上成功镀制了符合使用要求的多波段滤光膜。所镀膜层在420-640 nm与近红外920-960 nm波段的平均透射比大于95%,680-880 nm和990-1100 nm波段的平均透射比小于3%,能够承受恶劣的环境测试,完全满足红外夜视摄像机的使用要求。

根据军用光学仪器的使用要求,在多光谱ZnS基底上镀制增透膜,要求薄膜在可见与近红外波段400-1000 nm及远红外波段7-11 μm的平均透射率均大于90%。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过选择ZnS和YbF3作为高低折射率材料,利用最新OptiLayer软件三大模块的功能辅助,调整镀膜工艺参数,改进监控方法,减少膜厚控制误差,在多光谱ZnS基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段400-1000 nm的平均透射率大于91%,远红外波段7-11 μm的平均透射率大于90%,能够承受恶劣的环境测试,完全满足军用光学仪器的使用要求。

针对光学仪器对多光谱光轴测试的特殊要求, 采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统, 通过对材料的光学特性、膜系设计和监控厚度误差的分析, 优化工艺参数, 在多光谱ZnS基底上, 成功镀制多波段激光滤光膜, 实现了多波段光谱的分束。所镀膜层在30°角入射条件下, 可见400～700 nm波长范围内平均透射率高于90%,1064 nm和1540 nm波长处的透射率都低于5%, 在红外波长10.6 μm透射率高于92%, 并且解决了膜层牢固性问题, 能够承受激光光源的照射和恶劣的环境测试, 完全满足光学仪器的使用要求。