根据由多组镜片组成的三维腹腔镜对高透过率和不失真成像的要求，研究并选择了合适的薄膜材料；采用电子束真空镀膜加以离子辅助沉积系统，利用膜系设计软件完成了宽带增透膜的非周期膜系设计。通过调整镀膜工艺参数并采用光控与晶控同时监控的方法，减少了膜厚控制误差，成功地在多组镜片上镀制了宽带增透膜。测试试验显示，制备的膜层在400~700 nm波段的平均反射率＜05%，而且颜色不失真，膜层牢固，抗腐蚀效果较好，满足医用光学仪器的使用要求。
三维腹腔镜 光学增透膜 真空镀膜 离子辅助沉积 three-dimensional laparoscopy optical anti-reflection film vacuum evaporation coating ion assistant deposition
