为了提升大F数下瑞奇-康芒检验的面形恢复精度,提出局部采样影响矩阵法,对干涉仪采集到的压缩椭圆图样按各像素点实际入射角大小分别建立影响矩阵,恢复像素点的面形偏差。通过该方法遍历整个平面镜镜面,得到平面镜面形。利用仿真验证了局部采样影响矩阵法的精度并和传统影响矩阵法进行详细对比,结果表明相较传统影响矩阵法,局部采样影响矩阵法在离焦、像散、三级彗差、三级像散、三级球差等因素下的精度提升十分明显,证明局部采样影响矩阵法更适合瑞奇-康芒检验的面形恢复。

针对拼接干涉检测系统机械定位精度引起的各子孔径间的相对定位误差，提出了含定位误差补偿项的全局最优化拼接算法。介绍了该算法原理，从理论上分析了该算法拟合出的平移和旋转定位系数的精度。结合MetroPro和Matlab软件仿真模拟实验，分析了机械定位误差对拼接检测精度的影响。实验表明: 拟合出的平移定位系数精度高于旋转定位系数精度，与理论分析一致; 相对于一般算法，该算法对机械误差有较强的免疫力。在搭建的拼接检测装置上检测了口径为150 mm的平面镜，结果显示: 拼接结果与干涉仪直接检测的全口径相位残差的分布峰谷值(PV)为0.015 30λ，均方根值(RMS)为 0.001 570λ，得到的结果十分接近，验证了该算法稳定可靠，能够合理有效地补偿机械精度引起的子孔径定位误差。