1 上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093
2 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
为了制备出表面具有准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的黑硅材料,在SF6气体氛围中,用一定能量密度的飞秒脉冲激光照射单晶硅片表面。针对激光通量和激光峰值功率这两个参量分别进行实验,具体分析了15 fs和130 fs脉冲宽度的飞秒激光脉冲作用下硅表面微结构的形成,不同实验条件下制备出的硅微纳结构也有明显的差异。研究表明,在同一背景气体下,激光的峰值功率对硅表面微结构的形成起着决定性的作用。
表面微结构 黑硅 脉冲宽度 激光峰值功率 surface micro-structure black silicon pulse duration laser peak power
研究了一种基于廉价传感器 OPT201、数字处理电路和嵌入式系统的激光脉冲峰值功率实时检测系统, 介绍了该系统的设计思路。提出利用传感器与被测峰值功率之间的关系以补偿采样检测数据的方法。通过对该方法的实验观测, 可实现在重复频率为 4kHz以下的峰值功率高精度检测, 检测误差整体小于1%。
实时检测 激光脉冲峰值功率 real-time detection pulsed laser peak power OPT201 OPT201
