长春理工大学光电工程学院， 吉林 长春 130022
为了提高黄光激光器的信噪比，采用Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料，通过电子枪蒸发及离子辅助沉积技术，利用制备的589、1064、1178、1342 nm波长处分别有特定透射率的干涉截止滤光片对无用光信号进行过滤。在实际镀制过程中，由于沉积工艺条件不同，导致材料折射率的不稳定。另外监控方法易引起误差.通过调整优化工艺参数并调整膜系，有效控制膜厚监控精度，提高了对应波长的光学性能。经过高温、潮湿等恶劣环境测试，该滤光片满足黄光激光器的使用要求。
薄膜 干涉截止滤光片 膜系设计 监控误差 黄光激光器
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 杭州 310027
当光束斜入射时,光学薄膜存在一定的偏振效应。在飞利浦棱镜系统中,当一定大小孔径角的照明光束斜入射到分色合色薄膜后,S偏振分量和P偏振分量存在一定的相位差,使得线偏振光变成椭圆偏振光。利用琼斯矩阵偏振光线追迹的方法,分析了投影光学系统中由于两偏振分量相位差引起的偏振像差,以及它与暗态泄漏光强和系统衬比度的关系。得出了系统出瞳面上的光波偏振特性,以及在不同大小孔径角的照明光束入射下偏振像差的变化。分析了膜厚监控误差对光学系统偏振像差的影响,发现膜厚监控误差对偏振像差和系统衬比度有很大的影响。所使用的分析方法可以应用于其他大口径光学系统。
薄膜光学 偏振像差 琼斯矩阵 投影显示 膜厚监控误差
