为了提高瑞奇-康芒法检测平面镜面形误差的精度，提出了利用检测系统光瞳面与被检平面镜表面的坐标映射关系插值拟合平面镜面形的方法。结合最小二乘法分析，解算了由光路调整引入的离焦误差，获得了更为真实的平面镜面形误差。理论仿真分析显示，此方法的平面镜测量误差可控制在λ/100(λ=632.8 nm)量级。对口径为40 mm的小口径平面镜进行了实际检测，检测过程中通过多角度旋转被测平面镜，利用坐标映射关系和幅值转换关系对测试波前进行恢复，在分离系统离焦误差后得到被检平面镜面形RMS值为0.018 6λ，与干涉仪直接检测得到的RMS值0.021λ相比，残差为0.002 4λ。实验结果证明了此种误差分离技术在瑞奇-康芒法对平面镜面形检测时的有效性与准确性。

为进一步提高Ritchey-Common法的检测精度，分析了实验中Ritchey角精度对整体检测结果的影响。通过仿真模拟，分析并确定出最佳Ritchey角测试范围在20°~50°之间，此时面形误差检测结果精度可达0.01λ（λ=0.6328 μm）。仿真过程中模拟Ritchey角存在误差时对检测结果的影响，当Ritchey角误差控制在±1°时，拟合结果与原始面形的残差降至0.0007λ，能够满足测试要求。针对Ritchey角测量存在误差的问题，利用测得系统光瞳面的图像压缩比例来计算Ritchey角大小，此方法的计算误差可控制在0.2°以内。实验中选择3个角度来检测，在数据处理时将测得数据两两组合进行解算。29.6° & 47.8°组合拟合结果与Zygo干涉仪直接检测结果的残差的峰谷(PV)值为0.068λ、均方根(RMS)值为0.0105λ，证明Ritchey角的选择及其计算精度对检测整体精度具有一定影响。

在瑞奇-康芒检测中，被检平面本身所固有的像散和大曲率在被检系统波像差数据中都表现为像散。由于被检平面处于发散光路中,这就使得平面面形与系统波像差之间的关系(即影响函数)变得十分复杂,推导起来十分困难，只能进行定性或半定量检测。文中介绍了如何通过计算机光线追迹模拟瑞奇-康芒检验，在两个瑞奇角下得到两组影响函数，以此建立过定方程组，由干涉仪检测得到的两个不同瑞奇角下的系统波像差，通过最小二乘法解过定方程组，拟合得到被检平面镜的面形误差；实现了大口径平面镜的定量检测，并以平面镜直接检验的面形误差作为对比，检验结果的一致验证了该方法的准确性与可行性。

在瑞奇－康芒定量检测中，被检数据中除了被检平面本身所固有的像散以外，还存在由于大曲率所造成的像散，这样就很难得到准确的被测平面面形误差，给指导镜面加工带来困难。对瑞奇－康芒检测法中由于瑞奇角产生的压缩图像进行展开，同时旋转被测平面进行推导，该方法将被检平面高低误差和被检平面本身的像散进行分离，使得检测结果更加准确地反映被检平面面形。通过与其它检测方法的比对，可以证明此方法的可行性、可靠性。给出了大天区面积多目标光纤光谱望远镜(LAMOST)项目中的MA大口径平面子镜的检测实例。

多孔径扫描波面恢复技术是一项新的高精度大孔径面形检测手段.本文从建立波面恢复精度的评价标准出发,结合实测结果进行讨论,并对影响精度的两个重要因素即拼接模式及拼接区大小进行分析.