1 西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 陕西 西安 710021
2 中国兵器科学院宁波分院, 浙江 宁波 310022
为了区分超光滑表面上方存在的微小粒子、亚表面缺陷、微粗糙度三种缺陷产生的散射光, 并得到能够探测这三种缺陷的最佳区域, 将双向反射分布函数(Bidirectional Reflection Distribution Function, BRDF)与琼斯矩阵结合, 给出了三种缺陷在ss、sp、ps、pp四种偏振状态下的偏振系数。在此基础上, 模拟和分析了三种缺陷在四种偏振状态下与散射方位角的关系。结果表明: 利用p偏振入射光引起的p偏振散射光能将这几种缺陷区分开。根据三种缺陷与散射方位角变化关系的不同, 给出了三种缺陷的最佳探测区域及实现方法。
散射 双向反射分布函数 缺陷类型 最佳探测区域 scattering bidirectional reflectance distribution function defect types optimum detection region 红外与激光工程
2019, 48(11): 1113003
