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相同关键词【preferred orientation growth】论文列表

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研究与试制

真空蒸发法择优定向生长ZnO薄膜

马勇 ^1,2王万录 ¹廖克俊 ¹吕建伟 ¹孙晓楠 ¹

作者单位

摘要

¹ 重庆大学应用物理系,重庆,400044

² 重庆师范大学物理系,重庆,400047

研究了(002)向择优生长ZnO薄膜.利用真空蒸发法制备ZnO薄膜,衬底材料是镜面抛光石英片.实验结果表明,用此方法可获得高度择优定向生长的ZnO薄膜,氧化退火温度对ZnO薄膜的结构有重要影响.

真空蒸发 ZnO薄膜择优定向生长 vacuum evaporation ZnO films preferred orientation growth

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光电子技术

2004, 24(1): 1

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