1 上海市激光技术研究所,上海 200233
2 上海市激光束精细加工重点实验室,上海 200233
采用波长为355nm的高重复频率、纳秒脉冲全固态紫外激光器作为光源,对材料进行精确螺旋状钻孔。激光加工光束偏离小孔中心由偏置双光楔产生,并由高速电机带动旋转,使得小孔边缘的热效应降到最低;小孔的中心位置由高精度二维工作台位移决定,可以应用于列阵孔的激光加工中。
旋转双光楔 高重复频率全固态激光器 激光加工 列阵孔 rotating pairs of optical wedge high repetition rate solid-state lasers laser processing holes array
