孙国斌 1张锦 1,*季雪淞 1胡驰 1[ ... ]刘严严 2,**
作者单位
摘要
1 西安工业大学 光电工程学院,西安 710021
2 电磁空间安全全国重点实验室,天津 300308
设计出一种工作在可见光波段宽入射角度范围具有高消光比的金属偏振分束光栅。采用等效介质理论对金属偏振分束光栅原理进行定性分析,利用严格耦合波理论和时域有限差分法对金属Al光栅进行数值仿真并详细分析了结构参数中周期、高度以及光波长和入射角度等参数对偏振特性的影响。结果表明:当Al光栅占空比为0.5,周期为0.15 μm,光栅脊高度为0.15 μm时,在0.4~0.7 μm波段和45°±10°入射角范围内,该金属偏振光栅对TM波高透射,对TE波高反射,光栅透射消光比平均35 dB,反射消光比平均12 dB,最后对制作的金属偏振光栅进行消光比测量,验证了设计结果的正确性。该研究结果对设计和制备高衍射效率、高消光比、宽波段宽入射角度范围的偏振分束器具有较好的实践指导价值。
亚波长金属光栅 偏振分束 等效介质理论 严格耦合波理论 时域有限差分法 Subwavelength metal grating Polarization beam splitting Equivalent medium theory Rigorous coupled wave analysis theory Finite difference time domain method 
光子学报
2023, 52(12): 1205002
作者单位
摘要
1 天津大学微电子学院 天津市成像与感知微电子技术重点实验室, 天津 300072
2 天津大学 电气自动化与信息工程学院, 天津 300072
针对可见光通信对硅基光电探测器高响应度的要求,本文利用亚波长金属光栅的异常光学透射现象,提出一种增强与硅基CMOS工艺兼容的金属-半导体-金属光电探测器吸收的方法。采用时域有限差分法,详细分析了光栅周期、光栅高度和狭缝宽度对探测器吸收性能的影响,证明了类法布里-珀罗共振和表面等离子体激元是吸收增强的物理起源。对于波长615 nm的红光通信而言,探测器金属光栅的最佳周期、最佳高度和最佳狭缝宽度分别为580,91,360 nm。与没有亚波长金属光栅结构的探测器相比,本文设计的探测器吸收系数提高了32%。本文研究的MSM探测器结构与CMOS工艺完全兼容,有望在可见光通信芯片中得到实际应用。
可见光通信 光电探测器 亚波长金属光栅 吸收增强 类法布里-珀罗共振 表面等离子体激元 visible light communication photodetector subwavelength metal grating absorption Fabry-Perot-like resonance surface plasmon polariton 
发光学报
2018, 39(3): 363
作者单位
摘要
上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海200093
亚波长金属光栅具有传统光栅所不具有的特殊性质,其透射率与消光比高、光谱宽度宽、偏振性能好,是一种性能优良的光学元件,在亚波长光学元件应用领域中占据重要地位。且其体积小、结构紧凑、易于集成,在光学系统中可减少光路元件、增加系统灵活性,具有改进和取代传统光学器件的潜力。简要介绍了亚波长金属光栅理论分析方面的进展,以及金属光栅结构创新、多维发展、理论模拟向实验制备、适用波段向太赫兹及紫外波段拓展等方面的发展趋势。同时也阐述了亚波长金属光栅在激光器系统、偏振成像、光电探测、薄膜太阳能电池、光学传感等领域广泛的应用前景。
衍射 亚波长金属光栅 形式双折射效应 消光比 
激光与光电子学进展
2015, 52(1): 010002

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