作者单位
摘要
1 湖北工业大学机械工程学院,湖北 武汉 430068
2 大连交通大学机车车辆工程学院,辽宁 大连 116028
光学元件化学机械抛光(CMP)过程中元件与抛光垫之间接触压力分布是影响元件抛光去除效率和抛光效果的关键因素,但因元件、磨料、抛光垫之间的接触状态较复杂、且不停变化,难以通过仿真计算获得。为了研究确定性抛光去除机理,设计了一套CMP面压力分布在位实时检测装置,将薄膜压阻传感器阵列式布置于抛光垫下,对元件与抛光垫接触面的压力分布展开实时检测,并通过仿真分析抛光垫与元件表面接触压力分布理论模型,与实测结果进行对比。基于自主搭建的实验平台,模拟工况进行研磨实验,并使用基恩士CL-3000激光位移传感器测量抛光垫面形。实验结果表明:随着研磨时间增加,抛光垫面形逐渐平整并接近当前研磨条件下的极限,其标准差由0.2079 mm降低为0.1839 mm,使用压力分布检测装置测得区域压力值标准差第一阶段下降8.2%,第二阶段下降0.2%,工件与抛光垫接触面压力分布逐渐均匀,与抛光垫面形逐渐平整的趋势相对应,证明该装置可以有效检测抛光过程中的压力分布及实时变化。
化学机械抛光 接触面压力分布 薄膜压阻传感器 在位实时测量系统 
激光与光电子学进展
2023, 60(15): 1512002
作者单位
摘要
1 中国科学院 安徽光学精密机械研究所 中国科学院大气光学重点实验室, 安徽 合肥 230031
2 中国科学技术大学 研究生院 科学岛分院, 安徽 合肥 230026
3 皖西学院 电气与光电工程学院, 安徽 六安 237012
地表气压对温室气体浓度反演具有非常重要的影响。利用地基便携式傅里叶变换光谱仪EM27/SUN观测了敦煌地区H2O, CO2, CH4及CO气体分子的浓度, 获得了2018年6月27日到7月21日敦煌地区大气中XH2O, XCO2, XCH4及XCO的时间序列, 结合敦煌观测数据, 定量分析了地表气压对气体柱-平均摩尔分数Xgas(column-averaged dry air mole fractions, DMFs)反演的影响。结果表明: XH2O, XCO2, XCH4及XCO与地表气压密切相关, 相关系数均高于0.99, 柱总量随地表气压的变化快慢决定柱-平均摩尔分数随地表气压的变化趋势。相比较CO2, CH4及CO 分子, XH2O对地表气压的敏感性较弱, 地表气压改变1 hPa, XH2O, XCO2, XCH4及XCO分别变化0.027 8%, 0.065 9%, 0068 6%和0.062%; 观测期间, H2O, CO2的浓度变化幅度波动较大, XCH4, XCO变化较小, XH2O平均值在2 000×10-6~6 000×10-6变化, 而 XCO2平均值在407.27×10-6~417.60×10-6变化, 敦煌站点XH2O, XCO2, XCH4及XCO的测量精度分别为2.3%, 0.14%, 0.12%及1.7%, XCO2及XCH4的测量精度均优于TCCON网的测量精度; 与GOSAT卫星数据对比结果显示, 地基反演的XCO2, XCH4值均偏大, XCO2的绝对偏差为7.07×10-6, XCH4的绝对偏差为0.025×10-6; 与WACCM数据对比显示, 地基反演XCO2结果多数大于WACCM值, 最大绝对偏差可以达到80×10-6, 地基反演XCH4值小于WACCM值, 最大绝对偏差为0.032×10-6。实时观测数据更能反映当地的具体情况, 研究结果可为我国温暖带干旱性气候温室气体源与汇的研究提供数据支撑和理论基础。
傅里叶变换光谱技术 温室气体 分子摩尔分数 地表气压 Fourier transform infrared spectroscopy greenhouse gases Dry air Mole Fractions(DMFs) GOSAT satellite data surface pressure 
光学 精密工程
2020, 28(3): 573
洪光烈 1,2,*王钦 1,3孔伟 1,2王建宇 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院空间主动光电技术重点实验室,上海 200083
2 中国科学院上海技术物理研究所,上海 200083
3 中国科学院大学,北京 100049
根据美国标准大气模型进行了蒙特卡诺模拟,仿真研究了大气温度的不确定性对大气压力探测带来的随机误差和系统偏差,发现在氧气的A带中选择764.765 nm和765.094 nm为探测波长online,选择位于两者之间的764.948 nm为参考波长offline,是获得较小探测误差的一种方案;优化的探测波长既不在A带的吸收线上,亦不在某两吸收线之间的凹槽中间,而是位于A带吸收线p13和p14线的侧翼,这一结果对于建立积分路径差分吸收激光雷达探测地表大气压力的遥感仪器,起到参考作用.
大气光学 路径积分差分吸收激光雷达 大气压力 探测波长 参考波长 atmosphere optics integrated path differential absorption lidar surface pressure detection wavelength reference wavelength 
红外与毫米波学报
2018, 37(2): 206
作者单位
摘要
武汉大学 电子信息学院, 湖北 武汉 430060
由大气层折射率分布不均匀引起的大气折射延迟是星载激光测高仪测距误差的主要来源之一, 其主要受地表气压的影响。目前计算地表气压方法仅有美国GLAS系统使用的基于NCEP气象数据和时间空间的内插方法, GLAS系统观测相对平坦的南北极冰盖区域的精度足够, 但观测地表起伏复杂的陆地目标的精度较低。文中利用国内气象站的观测数据, 基于改进的反距离加权内插算法对大气折射延迟修正方法进行改进, 并与传统GLAS方法的修正结果进行精度对比。在高原地区以及高纬度地区, 采用国内气象数据和新的内插算法可以将修正残差由超过2 cm降低至小于0.5 cm, 相对GLAS系统整体15 cm的测量精度, 相当于整体精度提高10%, 对于未来国产卫星激光测高仪测量精度的提高将有一定参考价值。
激光测高仪 大气折射延迟 地表气压 反距离加权内插 laser altimeter atmospheric refraction delay surface pressure IDW 
红外与激光工程
2018, 47(2): 0206004
作者单位
摘要
1 武汉大学 电子信息学院,湖北 武汉 430072
2 海装武汉局,湖北 武汉 430064
星载激光测高系统发出的测距光束经过大气层时会发生折射,由此产生的与大气延迟相关的测距误差在数米量级。讨论了激光测高系统大气延迟修正理论及实现算法,通过使用沿天顶方向的大气传输延迟值与非天顶方向相应映射函数乘积的方法来计算大气延迟,并对影响大气延迟主要气象参数地表气压进行修正。结合全球首个对地观测星载激光测高系统GLAS测量数据和美国国家环境预报中心NCEP气象数据进行大气延迟修正,并与GLAS系统公布延迟数据对比。结果表明:大气干项延迟偏差小于2 cm,湿项延迟偏差小于1 mm。
星载激光测高 大气折射延迟 干项延迟 地表气压 satellite laser altimeter(SLR)system atmospheric refraction delay hydrostatic delay surface pressure 
应用光学
2014, 35(3): 520
作者单位
摘要
1 南开大学物理系, 天津 300071
2 中国科学院长春物理研究所, 长春130021
3 天津理工学院, 天津 300191
4 中国科学院长春光学精密机械研究所, 长春130022
研究了芪盐在不同表压下制备的LB膜的二阶光学非线性。测量得到在低表压增强的二次谐波信号。对比芪盐的。π-A曲线和透射光谱,认为在LB膜中芪盐以固相态存在,低表压时的固相态聚集体的吸收峰351 nm使四阶非线性极化率X(4)(—2ω:ω,ω,ω,—ω)产生共振增强,四阶光学非线性现象对二次谐波信号产生影响。
LB膜 表压 二次谐波 分子二阶非线性光学极化率(β) 聚集体 
光学学报
1995, 15(10): 1346

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