北方夜视科技集团有限公司,云南 昆明 650223
由于标准InP/In0.53Ga0.47As短波红外探测器的响应波段为0.87~1.7 μm,在高性能夜视中具有重要的应用。为了进一步利用夜天光在可见光区间的辐射能量,需要将InP/In0.53Ga0.47As短波探测器的光谱响应拓展到可见光,从而实现包含可见光和短波波段的宽光谱探测。通过特殊的材料设计和背减薄工艺,成功研制了可见光拓展的320×256 InP/InGaAs宽光谱红外探测器。采用增加滤光片的方法完成了器件在可见光、短波的成像演示,结果表明:目标在可见光、短波波段呈现出不同的特征信息,而不加滤光片的可见光拓展InP/InGaAs宽光谱红外探测器则探测到两个波段的信息,既包含目标的可见光信息同时也具有短波信息,从而实现了可见/短波双波段探测的效果,可显著提升对目标的探测能力。
光谱响应 可见光拓展 可见/短波 双波段探测 InP/In0.53Ga0.47As InP/In0.53Ga0.47As spectrum response visible-extended visible/short wavelength dual band detecting 红外与激光工程
2015, 44(11): 3177