提出了一种新型的基于共面线结构的多阳极光电倍增管（CPWMA-PMT），可实现大的工作面积、反射式光电阴极和近贴式聚焦方式。阐述了CPWMA-PMT的工作原理，分析了设计与研制中的关键问题。对所研制的CPLMA-PMT进行了参量测试，验证了在近贴聚焦工作条件下采用共面线多阳极结构的可行性，并提出了进一步的改进方向。
光电倍增管 共面线 多阳极 反射式光电阴极 近贴聚焦 photomultiplier copalanar line multi-anode reflective photocathode proximity focusing
1 中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室，陕西 西安 710119
2 中国科学院研究生院，北京 100049
鉴于传统的检测方法无法看到封装后芯片内部的线路虚焊和桥接等问题，而且随着封装的小型化和组装的高密度化以及各种新型封装技术的不断涌现，对于检测装置的分辨率要求越来越高，而高分辨率的X射线检测装置是解决这一问题的关键。提出一种新型高分辨率X射线像增强器，它是线路板检测和芯片封装检测装置中的核心器件之一，其极限分辨率制约着X射线检测装置的发展。通过对其制作工艺的改进和采用新型窗口材料进行真空封接，使其分辨率达到了20 lp／mm。
X射线像增强器 反射式光电阴极 X-ray image intensifier reflective photocathode MCP MCP
