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薄膜
多晶氧化物薄膜及复合膜系应力模型
李静平 1,2,*方明 1贺洪波 1邵建达 1[ ... ]李朝阳 3
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海 201800
2 中国科学院研究生院, 北京 100049
3 上海激光等离子体所, 上海 201800
基于膜层结构的弛豫现象，建立了一个多晶膜的应力演化模型，并通过线性组合给出了复合膜的生长应力模型。利用双光束基底曲率测量装置实时测量了电子束蒸发氧化铪、氧化硅多晶膜及其复合膜的应力演化过程，并对测量结果进行了拟合分析。
薄膜 应力模型 多晶膜 复合膜 应力演化 
PDF全文 Full Text
光学学报
2012, 32(10): 1031004
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