1 南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
2 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
折反射式零位补偿检验是一种综合了Offner折射式和Maksutov反射式补偿检验优点的凹非球面检验 方法,补偿能力强,检测光路紧凑。大口径和大相对孔径非球面检验是制约其加工质量提高的难题,针对口径为4 m、 偏心率为1、顶点曲率半径为16 m的大口径凹抛物面反射镜,设计了折反射式零位补偿器。基于三级像差理论对补偿器的初始结构进行了 规划和计算,采用Zemax软件对初始结构参数进行了优化,得出了补偿器的最终结构,检验光路轴向尺寸约12 m,系统优化后剩余波相差为0.005λ。设计和仿真结果表明,这种折反射式零位补偿器对大口径凹非球 面镜的加工检测是非常有利的。
几何光学 大口径非球面检验 折反射式零位补偿检验 三级像差理论 光学系统设计 geometric optics large-aperture aspheric surface test catadioptric null compensation test third-order aberration theory optical system design
