针对微/纳机电系统(MEMS/NEMS)零部件加工制造难题, 研究具有亚衍射极限空间分辨率的飞秒激光双光子聚合加工方法, 搭建钛蓝宝石飞秒激光微纳加工系统, 对液态聚合物材料进行飞秒激光双光子聚合加工工艺试验研究。结果表明: 随着激光功率的降低, 单个固化点的尺寸减小, 加工分辨率提高; 扫描步距减小, 所加工工件的表面粗糙度数值减小, 但加工效率降低。基于CAD软件设计出微米墙和纳米线构成的三维微纳结构, 利用飞秒激光双光子聚合加工得到该三维微纳结构实物, 通过优化工艺参数加工出直径小于100 nm的纳米线, 从而证明飞秒激光双光子聚合加工方法为微/纳器件的制造提供了一种有效方法。