1 西安科技大学机械工程学院，陕西 西安 710054
2 湖南理工学院机械工程学院，湖南 岳阳 414000
采用光学显微镜和电子背散射衍射技术（electron backscattered diffraction, EBSD），观察分析了激光选区熔化（selective laser melting, SLM）快速成形工艺在不同扫描角度下316L不锈钢的显微组织和晶体取向，研究了扫描角度与熔池生成、凝固的关系，以及与拉伸强度和延伸率的关系。结果表明，晶体的各向异性随激光扫描角度的变化而变化，扫描角度直接影响获得的熔池的稳定性和凝固过程中的温度梯度，同时也进一步影响最终晶体的均匀性，从而导致制件拉伸强度、延伸率发生变化。因此，可以通过改变扫描方向的角度来控制成形件的结构和力学性能。
激光选区熔化 316L合金 激光扫描角度 晶粒取向 微观结构 laser selective melting 316L alloy laser scanning angle grain orientation microstructure
1 福建省光电技术与器件重点实验室, 福建 厦门 361024
2 福建省高校光电技术重点实验室, 福建 厦门 361024
3 浙江大学信息与电子工程学院, 浙江 杭州 310058
4 浙江大学工程师学院, 浙江 杭州 310058
采用单因素优化法对沉积条件进行优化以获得低电阻率的银薄膜。研究了溅射功率、气压和衬底温度对银薄膜的电阻率和沉积速率的影响。结果表明:低功率和高气压有利于降低电阻率。这是由于该条件下沉积速率较低,使银原子充分迁移,改善了晶格完整性。适当加热衬底也可降低电阻率,但不宜超过100 ℃。为了抑制薄膜在高温下的“团聚”,在溅射气体氩气中加入氮气。SEM、AFM和XRD的结果表明:氮气促进了(1 1 1)取向晶粒的生长,抑制了“团聚”,细化了晶粒。加入氮气后薄膜的表面粗糙度和电阻率也提高了,但经过退火后均下降。该结果对控制银薄膜的晶粒取向,获得热稳定的低电阻率的银薄膜具有一定的意义。
银薄膜 团聚 电阻率 氮气 晶粒取向 silver thin film agglomeration resistivity nitrogen gas crystal orientation
北京工业大学激光工程研究院高功率激光先进制造实验室, 北京 100124
不同晶面单晶硅的物理性能和化学性能的微小差异会对微纳加工结果产生明显影响。利用电子背散射衍射(EBSD)技术,研究了不同晶面单晶硅在飞秒激光作用下的行为特性。结果表明, (111)面单晶硅在飞秒激光能量密度低于和高于破坏阈值时分别形成非晶区和刻蚀区, 而(100)面单晶硅在不同能量飞秒激光的作用下只形成刻蚀区。飞秒激光在微纳加工领域得到广泛应用, 对晶体材料的不同晶面在飞秒激光作用下的行为特性的研究有助于制造新型微纳器件。
激光制造 飞秒激光 晶粒取向 电子背散射衍射 单晶硅
