作者单位
摘要
苏州科技大学 物理科学与技术学院, 江苏 苏州 215009
本文提出并展示了一种全圆锥入射下基于一维共振波导光栅的入射角调谐滤波器。通过优化光栅层厚度,使其能够在支持TE导模的同时抑制TM导模。本文设计的滤波器呈现出可调谐的单一反射峰, 峰值反射率理论上可达100%。当入射角改变时,共振波长可以由642.5 nm调节至484.6 nm。该反射峰是由一级衍射波与TE导模(基模)之间的共振效应所产生的。同样地,通过按比例增加光栅层的厚度和周期可实现应用于更高动态范围的可调谐滤波器。
可调谐滤波器 共振波导光栅 入射角 全圆锥装配 tunable filters resonant waveguide gratings incident angle full conical mounting 
中国光学
2024, 17(2): 493
作者单位
摘要
电子科技大学 光电科学与工程学院,成都 611731
提出并实验研究了一种基于铌酸锂薄膜光波导的电光调谐的光栅辅助定向耦合器。该耦合器由单模与双模脊形波导及制作于双模波导侧壁的长周期光栅构成。长周期光栅的引入补偿了单模与双模波导中基模的相位失配,可在共振波长实现两波导中基模的高效耦合。进一步地,在双模脊形波导两侧制作调谐电极实现了高速、低驱动电压的电光调谐功能。优化了器件的制作工艺,并采用单次干法刻蚀将耦合器的光栅与波导同步制作于X切铌酸锂薄膜上。测试结果表明所制作的器件在1 595.3 nm波长处实现了14.8 dB的隔离度,其电光调谐效率为0.38 nm/V(1 595.3 nm~1 599.0 nm),热光调谐效率为0.14 nm/℃(25 ℃~50 ℃)。该器件可用于实现可调谐滤波、滤模、电光调制及高灵敏度温度传感等功能。
光栅辅助的定向耦合器 长周期波导光栅 铌酸锂薄膜 电光调谐 热光调谐 Grating-assisted directional coupler Long-period waveguide grating Lithium niobite on insulator Electro-optic tuning Thermo-optic tuning 
光子学报
2023, 52(10): 1052417
封治华 1,4袁硕 2陈益姝 2刘海鹏 2[ ... ]冯吉军 2,**
作者单位
摘要
1 西安电子科技大学物理学院,陕西 西安 710071
2 上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室,上海 200093
3 苏州大学江苏省先进光学制造技术重点实验室,江苏 苏州 215006
4 中国电子科技集团公司第二十七研究所,河南 郑州 450047
基于绝缘体上硅材料平台,设计并制作了一种结构紧凑的高均匀性硅波导阵列波导光栅,其拥有8个输出通道并且通道间隔为200 GHz。分析了绝缘体上硅材料平台中硅波导的弯曲半径对弯曲损耗和有效折射率的影响。测试结果表明,该器件的插入损耗为19.6 dB,串扰为-15 dB,非均匀性为0.87 dB,3 dB带宽为1.06 nm,结构尺寸仅为294 μm×190 μm。芯片的制作工艺与互补金属氧化物半导体工艺兼容,这使得阵列波导光栅的大批量、低成本生产成为可能,对集成波分复用网络的发展具有重要的意义。
集成光学 阵列波导光栅 结构紧凑 硅基波导 波分复用 
中国激光
2023, 50(22): 2219001
作者单位
摘要
杭州电子科技大学通信工程学院,浙江 杭州 310016
在基于阵列波导光栅(AWG)的光互连数据中心中,提出了一种改进的多信道矩阵接收方案,该方案允许每个节点同时接收任意一组波长。该方案基于差错控制编码理论设计了只需要使用少量接收机、固定波长滤波器和一个波长可变滤波器的组合。通过OptiSystem软件仿真验证了在10 Gbit/s和40 Gbit/s的传输速率下,新旧接收方案的接收差异。实验表明,该方案可以有效降低发射功率和减少接收端所需固定波长滤波器的数量,节约了数据中心的设备成本和功耗。
光通信 光互连数据中心 阵列波导光栅 矩阵接收 
光学学报
2023, 43(13): 1306006
作者单位
摘要
上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室,上海 200240
提出一种将质子交换技术和刻蚀技术结合的体铌酸锂波导和器件加工方案,基于质子交换的铌酸锂晶体相变特性改变,降低了质子交换区直接刻蚀难度,结合质子交换的纵向折射率改变和刻蚀波导的横向结构改变,波导尺寸显著降低,采用粒子群算法优化波导尺寸,最小可达2.5 μm。基于该工艺方案设计了中心波长为1550 nm、四通道且通道间隔为400 GHz的阵列波导光栅,该阵列波导光栅的传输损耗约为6 dB,相邻通道间串扰均低于22 dB,整体尺寸仅为850 μm×620 μm,在高密度铌酸锂光子集成互连等场景具有较大的应用潜力。
光栅 铌酸锂 质子交换 粗波分复用 阵列波导光栅 
光学学报
2023, 43(13): 1305003
作者单位
摘要
1 天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室,天津 300072
2 天津大学四川创新研究院,四川 成都 610200
光栅波导显示系统在生产加工和装调过程中,由于微纳加工设备的系统误差、累计误差和人为装调误差会影响系统成像质量产生重像、模糊等问题。为了解决上述问题,设计了一种一维扩瞳光栅波导并采用光线追迹仿真方法,分析了光栅波导平行度误差、光栅周期误差、系统装调误差对成像质量的影响。实验加工并装调测试了光栅波导的成像质量,通过控制波导平整度在0.3′以内,光栅周期公差在0.2 nm以内,制造了一维出瞳扩展光栅波导,准直装调后达到了30×12°视场角,实现了良好的增强现实显示效果和清晰的成像质量,对实际的量产制造具有指导意义。
光栅 增强现实显示 波导光栅 杂散光 误差分析 
激光与光电子学进展
2023, 60(9): 0905003
作者单位
摘要
东南大学 电子科学与工程学院 先进光子学中心,南京 210096
基于低损耗氮化硅光波导平台,采用一个1×6阵列波导光栅(AWG)与六个仅中心波长不同的1×25AWG两级级联的架构,优化设计了集成光谱分析芯片。仿真结果表明,该光谱分析芯片的工作带宽、波长分辨率、最小通道插损分别为75 nm、0.5 nm和4.9 dB,且通道间最小相邻、非相邻串扰约为-27.7 dB、-23.0 dB,最大相邻、非相邻串扰约为-22.6 dB、-12.5 dB。
片上集成光谱仪 阵列波导光栅 光谱分析芯片 色散器件 集成光学器件 On-chip integrated spectrometer Arrayed waveguide grating Spectral analysis chip Dispersive device Integrated optical device 
光子学报
2022, 51(11): 1113003
作者单位
摘要
1 天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室,天津 300072
2 天津大学四川创新研究院,四川 成都 610200
一般的光栅波导式头戴显示器因偏振敏感不能同时使用横电(TE)偏振光和横磁(TM)偏振光进行成像显示。为解决该问题,基于遗传算法与严格耦合波分析法提出了一种偏振不敏感光栅的设计方法。制作了偏振不敏感的光栅波导,进行了光栅波导的衍射效率测量实验。该光栅工作波长为532 nm。耦入光栅对TE偏振光的平均衍射效率从6.1%提高到了21.0%,对TM偏振光的平均衍射效率从13.7%提高到了40.5%,对非偏振光的平均衍射效率从9.9%提高到了30.7%。耦出光栅对TE偏振光的平均衍射效率从3.1%提高到了12.1%,对TM偏振光的平均衍射效率从0.8%提高到了10.7%,对非偏振光的平均衍射效率从1.9%提高到了11.4%。搭建了显示系统样机,测试表明显示效果清晰明亮。实现了30°×22°的大视场角,验证了偏振不敏感光栅波导设计方法和非偏振图像源在增强现实领域的可用性,为波导型增强现实系统的研究与发展提供一定的指导作用。
增强现实显示 波导光栅 偏振不敏感光栅 衍射效率 
激光与光电子学进展
2022, 59(20): 2011018
作者单位
摘要
1 郑州大学 物理学院 河南省金刚石光电材料与器件重点实验室,郑州 450001
2 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室,北京 100083
3 河南仕佳光子科技股份有限公司,河南 鹤壁 458030
采用硅基二氧化硅材料,针对G.698.4标准,设计并制作了适用于5G前传的20通道循环型阵列波导光栅,通道间隔为100 GHz。相较于传统的周期性阵列波导光栅结构,采用的2×20 循环型阵列波导光栅结构可实现通道波长的严格对准,且插损均匀性更高。另外,采用指数型锥形波导取代矩形多模干涉结构以实现阵列波导光栅通带平坦化,减小因波导结构上的突变带来的损耗,且不带来光谱性能的恶化。通过机械补偿无热封装后,制备的20通道循环型阵列波导光栅模块损耗约为5.5 dB,在-40 ℃/25 ℃/80 ℃三温温度变化时,波长偏移量在-40 ~80 pm范围内。该无热模块具有小型化、低成本、大规模化生产的优势,可广泛应于5G前传网络。
光波导 阵列波导光栅 硅基二氧化硅 5G前传 无热封装 Optical waveguide Arrayed waveguide gratings Silica based silicon 5G fronthaul Athermal packaging 
光子学报
2022, 51(6): 0623003
作者单位
摘要
吉林大学 电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点实验室, 长春 130012
聚合物平面光波导(PLC)器件以其低损耗、低成本、低功耗, 以及制备工艺简单等优点, 在光通信网络、微波光子学、传感监控等领域发挥着重要作用。文章梳理了近年来聚合物平面光波导器件的代表性工作, 其中包括阵列波导光栅、可变光衰减器、光开关及其集成器件, 讨论了聚合物平面光波导未来的发展方向。
聚合物 波导器件 集成光学 阵列波导光栅 光开关 polymer planar lightwave circuit integrated optics array waveguide grating optical switches 
半导体光电
2022, 43(2): 316

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