中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033
应用于高重复频率、高功率193 nm准分子激光器会聚光路中的针孔空间滤波器, 除了需要考虑它的材料加工难易、厚度、针孔尺寸等因素外, 还需考虑材料抗激光损伤特性。本文利用激光损伤理论中一维热流模型对无限厚和有限厚不同金属样品在高峰值功率193 nm准分子激光器照射下的损伤阈值进行了分析。结果表明: 铝材料在厚度为12 μm处比其它金属的损伤阈值高, 可达116×1010 W/cm2, 且材料易于加工。利用聚焦离子束技术加工了航空铝材料样品, 得到了厚度为12和15 μm的针孔空间滤波器样品。扫描电镜观察其具有较好圆度和内壁粗糙度, 基本满足剪切干涉仪对针孔空间滤波器的需求。
干涉仪 针孔空间滤波器 热流模型 离子束聚焦 interferometer pinhole filter thermal conduction mathematic model ion beam machining
1 中国科学院电工研究所,北京,100080
2 中国科学院研究生院,北京,100039
从加工尺度的连续性和加工技术的完整性这一新的角度,分析了纳米加工产业化面临的问题,并提出了相应的解决方案--多离子束聚焦投影技术.多离子束聚焦投影技术将填补传统微机加工技术和半导体图形技术之间0.5~5μm的加工空白,并会在1~100nm尺度间实现自上至下技术和自下至上技术的有机结合.纳米测量技术产业化的研究中,以提高扫描探针技术的样品质量作为出发点.在聚焦离子束和扫描电镜平台上集成Ar离子束的"三束"显微镜能有效降低样品的损伤,大大推动了纳米测量技术的发展.
多离子束聚焦投影 掩模板 纳米制造 纳米测量
