1 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室，长春 130022
2 中国科学院高能物理研究所 粒子天体物理中心，北京 100049
3 北京化工大学 数理学院，北京 100029
分别以AZ50XT和聚乙烯醇为脱膜剂，在本底真空度为5.0×10-4 Pa的磁控溅射镀膜机中沉积Al膜，制备出厚度为80 nm的自支撑Al滤光片，并对滤光片进行表面缺陷分析。通过扫描电镜和CMOS相机观察得到，制备的Al滤光片表面均匀性较好，有少量针孔。对滤光片的光学性能进行了表征。用紫外可见分光光度计测得滤光片在可见光及红外光波段的透过率低于0.02%，基本满足使用要求。用软X射线透过率测试系统测得滤光片在1.6~10 keV能段的透过率高于90%，透过率曲线与理论结果基本一致，满足应用要求。用同步辐射装置测得两种滤光片在50~250 eV能段的最高透过率分别为53%和35%，受Al膜表面氧化和脱膜剂残留的影响，实际测得的透过率比理论计算值偏低。
薄膜 自支撑 脱膜剂 软X射线 极紫外 透过率 Thin films Self-supporting Release agent Soft X-ray Extreme ultraviolet Transmittance
1 中国科学院云南天文台, 云南 昆明 650011
2 中国科学院天体结构与演化重点实验室, 云南 昆明 650011
3 中国科学院大学, 北京 100049
利用国内首个自上向下热蒸发反射膜的大型镀膜机ZZS3200，开展了2.4 m望远镜铝反射镜镀介质保护膜的研究。根据2.4 m望远镜主镜面型，结合ZZS3200型镀膜机真空室空间几何配置，分析了介质保护膜膜厚均匀性，设计了一款自上向下热蒸发保护膜材料的蒸发舟，开展了铝反射镜的介质保护膜工艺研究。结果表明：蒸发舟蒸发特性接近1， 2.4 m主镜介质保护膜膜厚不均匀性小于13.6%。脱膜清洗效果表明，相比于SiO2保护膜，MgF2保护膜更容易清洗，可减少脱膜对镜面造成的腐蚀，并有更高的反射率, 更适合于2.4 m望远镜主镜。完成2.4 m望远镜主镜镀铝加MgF2保护膜，陪镀片在350～1100 nm波段范围内，平均反射率为87.16％，实测2.4 m望远镜极限星等不低于23.5等。
薄膜 保护膜 铝反射膜 脱膜 天文主镜
同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
利用真空热蒸发的方法制备了厚度为0.28～0.40 μm的硬脂酸钠薄膜,并用光学显微镜和傅里叶红外光谱仪对硬脂酸钠薄膜进行了观察和分析,发现硬脂酸钠薄膜的红外光谱和固体的光谱具有相似性.在空气环境中硬脂酸钠薄膜不易潮解,在选择的无水脱膜溶液中,容易脱出无明显针孔的自支撑Al膜.用俄歇电子能谱测试,未发现脱出的Al膜上有残留的硬脂酸钠脱膜剂.
硬脂酸钠 脱膜剂 真空热蒸发 薄膜制备 傅里叶红外光谱
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
介绍了软X射线多层膜分束镜的制备, 采用腐蚀基底法和氯化钠脱膜分离法制备且获得了大面积的Mo/Si多层膜分束镜。
软X射线多层膜 分束镜 腐蚀 脱膜
