作者单位
摘要
1 中国科学院云南天文台, 云南 昆明 650011
2 中国科学院天体结构与演化重点实验室, 云南 昆明 650011
3 中国科学院大学, 北京 100049
利用国内首个自上向下热蒸发反射膜的大型镀膜机ZZS3200,开展了2.4 m望远镜铝反射镜镀介质保护膜的研究。根据2.4 m望远镜主镜面型,结合ZZS3200型镀膜机真空室空间几何配置,分析了介质保护膜膜厚均匀性,设计了一款自上向下热蒸发保护膜材料的蒸发舟,开展了铝反射镜的介质保护膜工艺研究。结果表明:蒸发舟蒸发特性接近1, 2.4 m主镜介质保护膜膜厚不均匀性小于13.6%。脱膜清洗效果表明,相比于SiO2保护膜,MgF2保护膜更容易清洗,可减少脱膜对镜面造成的腐蚀,并有更高的反射率, 更适合于2.4 m望远镜主镜。完成2.4 m望远镜主镜镀铝加MgF2保护膜,陪镀片在350~1100 nm波段范围内,平均反射率为87.16%,实测2.4 m望远镜极限星等不低于23.5等。
薄膜 保护膜 铝反射膜 脱膜 天文主镜 
中国激光
2013, 40(9): 0907002
作者单位
摘要
1 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
2 中国科学院研究生院, 北京 100049
为制备出在130~210 nm波段具有良好光谱性能的铝反射膜,优化设计了铝反射镜中铝层和保护层氟化镁的厚度,理论确定铝层和氟化镁保护层最佳厚度分别为80 nm和33 nm。采用热舟蒸发工艺,在BK7基片上制备了Al反射膜样品,获得了130~210 nm波长范围内反射率均大于80%的金属铝膜。研究了铝层沉积速率和紫外辐照处理对薄膜性能的影响,并考察了铝膜光谱性能的时效性。结果表明铝层沉积速率越快,制备的铝膜反射率越高;合理地存放铝膜元件,可以长时间内保持铝膜的光谱性能。适当的紫外辐照处理能进一步提高铝膜在真空紫外波段的反射率。
薄膜 铝反射膜 蒸发速率 真空紫外 时效性 紫外辐照 
光学学报
2012, 32(2): 0231001

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