1 贵州师范学院物理与电子科学学院, 贵州 贵阳 550018
2 贵州大学贵州省光电子技术与应用重点实验室, 贵州 贵阳 550025
利用调Q的Nd:YAG激光器输出的1064 nm纳秒脉冲激光聚焦在石英上采用激光诱导等离子体法加工微通道，加工出的微通道在显微镜下没有观察到热裂纹，通道深度可达4 mm。强激光辐照石英，石英吸收激光能量气化、电离，形成等离子体，发生光学击穿，高温等离子体烧蚀石英形成微通道。研究了强激光辐照下等离子体形成的机理以及介电常数、折射率、反射率等光学性质，分析了光学击穿的关键自由电子密度，并计算了光学击穿长度。
激光技术 激光诱导等离子体 微通道 光学击穿 自由电子密度 激光与光电子学进展
2013, 50(11): 111403
