西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710021
激光诱导薄膜损伤阈值的准确测量是判别光学薄膜抗激光损伤能力的重要依据。采用单因素控制变量法, 建立了激光能量误差、聚焦光斑尺寸误差与损伤阈值误差的数值模型, 理论分析了能量误差、聚焦光斑尺寸误差对薄膜损伤阈值的影响, 通过搭建实验平台测量了辐照在薄膜表面的实际能量和聚焦光斑尺寸, 根据实验结果采用统计学原理评估了薄膜损伤阈值不确定度。研究结果表明: 随着能量误差、聚焦光斑尺寸误差的增大, 损伤阈值误差也增大。单层膜样品实例分析, 损伤阈值测量合成不确定度为0.87 J/cm2。因此, 研究能量和聚焦光斑尺寸误差对损伤阈值的影响, 为获得准确的薄膜损伤阈值测试结果提供了方向。
脉冲激光输出参数 薄膜损伤阈值 不确定度 单因素控制变量法 pulsed laser output parameters film damage threshold uncertainty single factor control variable method
