浙江大学现代光学与仪器国家重点实验室,浙江大学微系统研究与开发中心,杭州,310027
通过数值计算模拟了K+-Na+二次扩散玻璃波导的折射率轮廓,阐述了利用K+-Na+二次离子交换的方法,在BK7玻璃上制作波导的过程,分析了极化率不同的扩散离子对的选择对波导有效折射率变化的影响,以及扩散平衡时体积变化对表面折射率的影响,描述了扩散引起的波导内部诱导应力变化.设计了测试波导损耗以及波导表面折射率改变的实验装置,对尺寸10mm×10mm×1.5 mm和10 mm×5 mm×1.5 mm两组BK7玻璃基片上的玻璃波导进行了测试,测试结果与理论吻合较好.
K+-Na+离子交换 波导 极化率 诱导应力
