中国激光, 2012, 39 (s1): s116005, 网络出版: 2012-06-25
光学元件表面疵病标准板系统设计
Calibration Plate Design for Surface Defect Inspecting System
基本信息
| DOI: | 10.3788/cjl201239.s116005 |
| 中图分类号: | TN247 |
| 栏目: | 光学设计与制造 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 2012-02-22 |
| 修改稿日期: | 2012-05-04 |
| 网络出版日期: | 2012-06-25 |
| 通讯作者: | 刘旭 (zjuliuxu@gmail.com) |
| 备注: | -- |
刘旭, 任寰, 柴立群, 陈波, 杨甬英, 高鑫. 光学元件表面疵病标准板系统设计[J]. 中国激光, 2012, 39(s1): s116005. Liu Xu, Reb Huan, Chai Liqun, Chen Bo, Yang Yongying, Gao Xin. Calibration Plate Design for Surface Defect Inspecting System[J]. Chinese Journal of Lasers, 2012, 39(s1): s116005.
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