中国激光, 2012, 39 (s1): s116005, 网络出版: 2012-06-25
光学元件表面疵病标准板系统设计
Calibration Plate Design for Surface Defect Inspecting System
图 & 表
刘旭, 任寰, 柴立群, 陈波, 杨甬英, 高鑫. 光学元件表面疵病标准板系统设计[J]. 中国激光, 2012, 39(s1): s116005. Liu Xu, Reb Huan, Chai Liqun, Chen Bo, Yang Yongying, Gao Xin. Calibration Plate Design for Surface Defect Inspecting System[J]. Chinese Journal of Lasers, 2012, 39(s1): s116005.