中国激光, 2012, 39 (s1): s116005, 网络出版: 2012-06-25  

光学元件表面疵病标准板系统设计

Calibration Plate Design for Surface Defect Inspecting System
作者单位
1 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
2 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 浙江 杭州 310027
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刘旭, 任寰, 柴立群, 陈波, 杨甬英, 高鑫. 光学元件表面疵病标准板系统设计[J]. 中国激光, 2012, 39(s1): s116005. Liu Xu, Reb Huan, Chai Liqun, Chen Bo, Yang Yongying, Gao Xin. Calibration Plate Design for Surface Defect Inspecting System[J]. Chinese Journal of Lasers, 2012, 39(s1): s116005.

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