基于65 nm标准CMOS工艺的3.0 THz 探测器

方桐; 刘力源; 刘朝阳; 冯鹏; 李媛媛; 刘俊岐; 刘剑; 吴南健

doi:doi:10.11972/j.issn.1001-9014.2020.01.009

红外与毫米波学报, 2020, 39 (1): 56, 网络出版: 2020-03-12

基于65 nm标准CMOS工艺的3.0 THz 探测器

A 3.0 THz detector in 65 nm standard CMOS process

方桐 ^1,3刘力源 ^1,3,*刘朝阳 ^1,3冯鹏 ^1,3李媛媛 ^2,3刘俊岐 ^2,3刘剑 ^1,3吴南健 ^1,3

作者单位

¹ State Key Laboratory of Superlattices and Microstructures, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing00083, China

² Key Laboratory of Semiconductor Materials Science, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing100083, China

³ Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing100049, China

基本信息

DOI:	10.11972/j.issn.1001-9014.2020.01.009
中图分类号:	--
栏目:	Millimeter Wave and Terahertz Technology
项目基金:	国家重点研发计划资助（2016YFA0202200）、中国科学院青年创新促进会计划（ 2016107）、北京市科技计划项目（ Z181100008918009）、 the National Key R&（ 2016YFA0202200）、D Program of China（ 2016107）、 Youth Innovation Promotion Association Program（ Z181100008918009）、 Chinese Academy of Sciences、 Beijing Municipal Science and Technology Project
收稿日期:	2019-05-08
修改稿日期:	2019-12-01
网络出版日期:	2020-03-12
通讯作者:	刘力源 (liuly@semi.ac.cn)
备注:	--

方桐, 刘力源, 刘朝阳, 冯鹏, 李媛媛, 刘俊岐, 刘剑, 吴南健. 基于65 nm标准CMOS工艺的3.0 THz 探测器[J]. 红外与毫米波学报, 2020, 39(1): 56. Tong FANG, Li-Yuan LIU, Zhao-Yang LIU, Peng FENG, Yuan-Yuan LI, Jun-Qi LIU, Jian LIU, Nan-Jian WU. A 3.0 THz detector in 65 nm standard CMOS process[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2020, 39(1): 56.

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