中国激光, 2019, 46 (10): 1004005, 网络出版: 2019-10-25
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Blade Edge's Penumbra Measurement for Scanning Slit of Lithographic Tools
基本信息
DOI: | 10.3788/CJL201946.1004005 |
中图分类号: | TN305.99; TP23; TP29 |
栏目: | 测量与计量 |
项目基金: | 国家科技重大专项课题、广西高校光电信息处理重点实验室开放基金(KFJJ2016-03) |
收稿日期: | 2019-03-21 |
修改稿日期: | 2019-06-06 |
网络出版日期: | 2019-10-25 |
通讯作者: | 步扬 (buyang@siom.ac.cn) |
备注: | -- |
刘志帆, 陈明, 步扬, 徐静浩, 范李立, 张建华, 王向朝. 光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术[J]. 中国激光, 2019, 46(10): 1004005. Zhifan Liu, Ming Chen, Yang Bu, Jinghao Xu, Lili Fan, Jianhua Zhang, Xiangzhao Wang. Blade Edge's Penumbra Measurement for Scanning Slit of Lithographic Tools[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(10): 1004005.