中国激光, 2019, 46 (10): 1004005, 网络出版: 2019-10-25 复制并引用该论文  本文已被引 5 次  被引通知

图 & 表

图 1. 步进扫描光刻机曝光系统示意图

Fig. 1. Exposure system diagram of step-and-scan lithographic tool

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图 2. 矩形照明光场示意图

Fig. 2. Diagram of rectangle lighting field

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图 3. 梯形照明下扫描狭缝刀口成像光路图

Fig. 3. Scanning slit imaging optical path under trapezoidal illumination

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图 4. 基于扫描法得到的光场边缘光强分布

Fig. 4. Light intensity distribution at edge of light field based on scanning method

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图 5. 现有扫描法在不同采样步长下的刀口半影测量结果

Fig. 5. Measurement result of penumbra by using the conventional scanning method with different sampling steps

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图 6. 掩模面光强和光瞳面子光瞳分布示意图

Fig. 6. Distribution of intensity of mask surface and sub-pupil of pupil plane

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图 7. 成像法测量刀口半影宽度原理图。(a) P100%;(b) P50%;(c) P0

Fig. 7. Principle of blade edge's penumbra width measurement byproposed imaging method. (a) P100%; (b) P50%; (c) P0

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图 8. 光瞳成像检测系统结构图

Fig. 8. Diagram of pupil imaging measurement system

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图 9. 采样点编号及位置坐标示意图

Fig. 9. Diagram of sampling points' number and coordinate

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图 10. 两种方法的刀口半影宽度的测量重复性。(a) x-方向;(b) x+方向;(c) y-方向;(d) y+方向

Fig. 10. Repeatability of blade edge's penumbra width measured by two methods. (a) In x- direction; (b) in x+ direction; (c) in y- direction; (d) in y+ direction

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图 11. 两种刀口半影测量方法的采样路径

Fig. 11. Sampling paths of two methods for measuring blade edge's penumbra

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表 1两种方法下的刀口半影测量重复性

Table1. Repeatability of blade edge's penumbra width measured by two methodsmm

Direction Conventional method Proposed method Mean Repeatability Mean Repeatability Max Min Max Min Max Min Max Min x- 0.409 0.355 0.090 0.067 0.484 0.454 0.026 0.024 x+ 0.401 0.359 0.083 0.074 0.488 0.452 0.026 0.025 y- 0.410 0.381 0.086 0.073 0.492 0.468 0.025 0.024 y+ 0.380 0.340 0.086 0.069 0.474 0.454 0.026 0.024

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刘志帆, 陈明, 步扬, 徐静浩, 范李立, 张建华, 王向朝. 光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术[J]. 中国激光, 2019, 46(10): 1004005. Zhifan Liu, Ming Chen, Yang Bu, Jinghao Xu, Lili Fan, Jianhua Zhang, Xiangzhao Wang. Blade Edge's Penumbra Measurement for Scanning Slit of Lithographic Tools[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(10): 1004005.