中国激光, 2019, 46 (10): 1004005, 网络出版: 2019-10-25
光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术 
下载： 1757次
Blade Edge's Penumbra Measurement for Scanning Slit of Lithographic Tools
Metrics
摘要访问:4060次
PDF 下载:795次
全文浏览:962次
总被查询:2次
刘志帆, 陈明, 步扬, 徐静浩, 范李立, 张建华, 王向朝. 光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术[J]. 中国激光, 2019, 46(10): 1004005. Zhifan Liu, Ming Chen, Yang Bu, Jinghao Xu, Lili Fan, Jianhua Zhang, Xiangzhao Wang. Blade Edge's Penumbra Measurement for Scanning Slit of Lithographic Tools[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(10): 1004005.
PDF全文
