膜厚监控系统的光谱宽度对窄带滤光片性能的影响

顾培夫; 陆巍; 陈海星; 杨毓铭; 李海峰; 章岳光; 刘旭; 唐晋发

光学学报, 2004, 24 (2): 251, 网络出版: 2006-06-12

膜厚监控系统的光谱宽度对窄带滤光片性能的影响

Effect of Spectral Width of Thickness-Monitoring System on Performance of Narrow-Band Filters

顾培夫 ^*陆巍陈海星杨毓铭李海峰章岳光刘旭唐晋发

作者单位

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 杭州 310027

引用该论文

顾培夫, 陆巍, 陈海星, 杨毓铭, 李海峰, 章岳光, 刘旭, 唐晋发. 膜厚监控系统的光谱宽度对窄带滤光片性能的影响[J]. 光学学报, 2004, 24(2): 251.

顾培夫, 陆巍, 陈海星, 杨毓铭, 李海峰, 章岳光, 刘旭, 唐晋发. Effect of Spectral Width of Thickness-Monitoring System on Performance of Narrow-Band Filters[J]. Acta Optica Sinica, 2004, 24(2): 251.

引用列表

1、 5G通信LWDM窄带滤光膜的研制中国激光, 2023, 50 (19): 1903101

2、多层膜光学元件对光束线宽响应特性的研究红外与激光工程, 2023, 52 (12): 20230574

3、离子束刻蚀改善光通信滤光膜均匀性的研究光子学报, 2022, 51 (12): 1216001

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5、膜厚监控误差及监控片不均匀对膜厚监控的影响光学学报, 2006, 26 (7): 1107

6、投影光学系统中的偏振像差分析光学学报, 2005, 25 (5): 696

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