光学学报, 2004, 24 (2): 251, 网络出版: 2006-06-12
膜厚监控系统的光谱宽度对窄带滤光片性能的影响
Effect of Spectral Width of Thickness-Monitoring System on Performance of Narrow-Band Filters
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | O484 |
| 栏目: | 薄膜 |
| 项目基金: | 高等学校国家重点实验室资助课题。 |
| 收稿日期: | 2002-11-11 |
| 修改稿日期: | 2002-12-23 |
| 网络出版日期: | 2006-06-12 |
| 通讯作者: | 顾培夫 (gupeifu@zju.edu.cn) |
| 备注: | -- |
顾培夫, 陆巍, 陈海星, 杨毓铭, 李海峰, 章岳光, 刘旭, 唐晋发. 膜厚监控系统的光谱宽度对窄带滤光片性能的影响[J]. 光学学报, 2004, 24(2): 251. 顾培夫, 陆巍, 陈海星, 杨毓铭, 李海峰, 章岳光, 刘旭, 唐晋发. Effect of Spectral Width of Thickness-Monitoring System on Performance of Narrow-Band Filters[J]. Acta Optica Sinica, 2004, 24(2): 251.
PDF全文
