光学学报, 2004, 24 (2): 251, 网络出版: 2006-06-12   

膜厚监控系统的光谱宽度对窄带滤光片性能的影响

Effect of Spectral Width of Thickness-Monitoring System on Performance of Narrow-Band Filters
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 杭州 310027
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顾培夫, 陆巍, 陈海星, 杨毓铭, 李海峰, 章岳光, 刘旭, 唐晋发. 膜厚监控系统的光谱宽度对窄带滤光片性能的影响[J]. 光学学报, 2004, 24(2): 251. 顾培夫, 陆巍, 陈海星, 杨毓铭, 李海峰, 章岳光, 刘旭, 唐晋发. Effect of Spectral Width of Thickness-Monitoring System on Performance of Narrow-Band Filters[J]. Acta Optica Sinica, 2004, 24(2): 251.

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