中国激光, 2017, 44 (9): 0904001, 网络出版: 2017-09-07
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 
下载： 967次
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine′s Abbe Error on Quality of Grating Wavefront
基本信息
| DOI: | 10.3788/CJL201744.0904001 |
| 中图分类号: | TH113.2 |
| 栏目: | 测量与计量 |
| 项目基金: | 国家973计划(2014CB049500)、国家自然科学基金(61605204)、重大科学仪器设备开发专项(2016YFF0103304) |
| 收稿日期: | 2017-03-29 |
| 修改稿日期: | 2017-05-21 |
| 网络出版日期: | 2017-09-07 |
| 通讯作者: | 糜小涛 (mixiaotao_ciomp@126.com) |
| 备注: | -- |
糜小涛, 于海利, 于宏柱, 齐向东, 李晓天, 万秋华. 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法[J]. 中国激光, 2017, 44(9): 0904001. Mi Xiaotao, Yu Haili, Yu Hongzhu, Qi Xiangdong, Li Xiaotian, Wan Qiuhua. Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine′s Abbe Error on Quality of Grating Wavefront[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(9): 0904001.
PDF全文
