中国激光, 2017, 44 (9): 0904001, 网络出版: 2017-09-07 复制并引用该论文  被引通知

图 & 表

图 1. 工作台结构三维模型

Fig. 1. Three-dimensional model of table structure

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图 2. 测量光路

Fig. 2. Optical path for measurement

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图 3. 刻线误差校正原理图

Fig. 3. Schematic of revising on error of grooves

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图 4. 测量系统y向示意图

Fig. 4. Schematic of measuring system in y direction

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图 5. 阿贝误差原理图

Fig. 5. Schematic of Abbe error

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图 6. 具有阿贝误差测量功能的测量光路。(a)俯视图;(b)侧视图

Fig. 6. Measuring optical path with a function of Abbe error measurement. (a) Top view; (b) side view

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图 7. 角度αi的测量原理图

Fig. 7. Schematic of measuring angle αi

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图 8. 分度系统的阿贝误差

Fig. 8. Abbe error of indexing system

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图 9. 阿贝误差对不同刻线密度光栅波前质量的影响。(a) 600 groove/mm; (b) 79 groove/mm; (c) 6000 groove/mm

Fig. 9. Impact of Abbe error on grating wavefront quality of different groove densities. (a) 600 groove/mm; (b) 79 groove/mm; (c) 6000 groove/mm

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图 10. Zygo干涉仪测量的光栅波前质量。(a)校正阿贝误差前; (b) 校正阿贝误差后

Fig. 10. Wavefront quality of the grating measured by Zygo interferometer. (a) Before revising Abbe error; (b) after revising Abbe error

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表 1阿贝误差对不同刻线密度光栅产生的波前误差值dPV

Table1. Wavefront error value dPV of Abbe error on grating wavefront quality of different groove densities

Density /(groove/mm) Diffraction order dPV /λ 600 -1 0.13371 79 -36 0.6127 6000 -1 1.3371

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糜小涛, 于海利, 于宏柱, 齐向东, 李晓天, 万秋华. 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法[J]. 中国激光, 2017, 44(9): 0904001. Mi Xiaotao, Yu Haili, Yu Hongzhu, Qi Xiangdong, Li Xiaotian, Wan Qiuhua. Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine′s Abbe Error on Quality of Grating Wavefront[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(9): 0904001.