中国激光, 2017, 44 (9): 0904001, 网络出版: 2017-09-07  

光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 下载: 966次

Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine′s Abbe Error on Quality of Grating Wavefront
作者单位
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
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糜小涛, 于海利, 于宏柱, 齐向东, 李晓天, 万秋华. 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法[J]. 中国激光, 2017, 44(9): 0904001. Mi Xiaotao, Yu Haili, Yu Hongzhu, Qi Xiangdong, Li Xiaotian, Wan Qiuhua. Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine′s Abbe Error on Quality of Grating Wavefront[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(9): 0904001.

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