中国激光, 2020, 47 (10): 1002002, 网络出版: 2020-10-16
大气等离子体电极结构对碳化硅去除函数的影响 下载: 870次
Effects of Atmospheric Pressure Plasma Electrode Structure on Silicon Carbide Removal Function
基本信息
DOI: | 10.3788/CJL202047.1002002 |
中图分类号: | O439 |
栏目: | 激光制造 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2020-04-09 |
修改稿日期: | 2020-05-28 |
网络出版日期: | 2020-10-16 |
通讯作者: | 徐学科 (xuxk@siom.ac.cn) |
备注: | -- |
宋力, 顿爱欢, 王哲, 吴伦哲, 彭冰, 徐学科. 大气等离子体电极结构对碳化硅去除函数的影响[J]. 中国激光, 2020, 47(10): 1002002. Song Li, Dun Aihuan, Wang Zhe, Wu Lunzhe, Peng Bing, Xu Xueke. Effects of Atmospheric Pressure Plasma Electrode Structure on Silicon Carbide Removal Function[J]. Chinese Journal of Lasers, 2020, 47(10): 1002002.