中国激光, 2020, 47 (10): 1002002, 网络出版: 2020-10-16  

大气等离子体电极结构对碳化硅去除函数的影响 下载: 869次

Effects of Atmospheric Pressure Plasma Electrode Structure on Silicon Carbide Removal Function
作者单位
1 中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心, 上海 201800
2 中国科学院大学材料科学与光电技术学院, 北京 100049
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宋力, 顿爱欢, 王哲, 吴伦哲, 彭冰, 徐学科. 大气等离子体电极结构对碳化硅去除函数的影响[J]. 中国激光, 2020, 47(10): 1002002. Song Li, Dun Aihuan, Wang Zhe, Wu Lunzhe, Peng Bing, Xu Xueke. Effects of Atmospheric Pressure Plasma Electrode Structure on Silicon Carbide Removal Function[J]. Chinese Journal of Lasers, 2020, 47(10): 1002002.

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