超光滑表面缺陷的分类检测研究

解格飒; 王红军; 王大森; 田爱玲; 刘丙才; 朱学亮; 刘卫国

doi:doi:10.3788/irla201948.1113003

红外与激光工程, 2019, 48 (11): 1113003, 网络出版: 2019-12-09

超光滑表面缺陷的分类检测研究

Study on classification and detection of supersmooth surface defects

解格飒 ^1,*王红军 ¹王大森 ²田爱玲 ¹刘丙才 ¹朱学亮 ¹刘卫国 ¹

作者单位

¹ 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 陕西西安 710021

² 中国兵器科学院宁波分院, 浙江宁波 310022

图 & 表

解格飒, 王红军, 王大森, 田爱玲, 刘丙才, 朱学亮, 刘卫国. 超光滑表面缺陷的分类检测研究[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(11): 1113003. Xie Gesa, Wang Hongjun, Wang Dasen, Tian Ailing, Liu Bingcai, Zhu Xueliang, Liu Weiguo. Study on classification and detection of supersmooth surface defects[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(11): 1113003.