光学学报, 2012, 32 (10): 1031004, 网络出版: 2012-07-17
多晶氧化物薄膜及复合膜系应力模型
Model of Stress Evolution in Polycrystalline Oxide and Composite Thin Films
基本信息
| DOI: | 10.3788/aos201232.1031004 |
| 中图分类号: | O484.2 |
| 栏目: | 薄膜 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金(10976030)资助课题。 |
| 收稿日期: | 2012-04-20 |
| 修改稿日期: | 2012-05-31 |
| 网络出版日期: | 2012-07-17 |
| 通讯作者: | 李静平 (jingpingli1986@gmail.com) |
| 备注: | -- |
李静平, 方明, 贺洪波, 邵建达, 范正修, 李朝阳. 多晶氧化物薄膜及复合膜系应力模型[J]. 光学学报, 2012, 32(10): 1031004. Li Jingping, Fang Ming, He Hongbo, Shao Jianda, Fan Zhengxiu, Li Zhaoyang. Model of Stress Evolution in Polycrystalline Oxide and Composite Thin Films[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(10): 1031004.
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