光学学报, 2012, 32 (10): 1031004, 网络出版: 2012-07-17
多晶氧化物薄膜及复合膜系应力模型
Model of Stress Evolution in Polycrystalline Oxide and Composite Thin Films
图 & 表
李静平, 方明, 贺洪波, 邵建达, 范正修, 李朝阳. 多晶氧化物薄膜及复合膜系应力模型[J]. 光学学报, 2012, 32(10): 1031004. Li Jingping, Fang Ming, He Hongbo, Shao Jianda, Fan Zhengxiu, Li Zhaoyang. Model of Stress Evolution in Polycrystalline Oxide and Composite Thin Films[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(10): 1031004.